Tecnologia de revestimento de máquina de revestimento a vácuo óptico

As máquinas de revestimento a vácuo óptico são amplamente utilizadas na indústria, como câmeras de celular, capas de celular, telas de celular, filtros de cor, lentes de óculos, etc. O padrão de precisão é muito alto e vários revestimentos podem ser revestidos, como AR filme anti-reflexo, arte decorativa Filmes plásticos, filmes cerâmicos para motores, filmes refletivos aprimorados, filmes condutores ITO e filmes anti-incrustantes têm uma alta porcentagem de vendas no mercado.

Qual tecnologia de processamento a máquina de revestimento a vácuo óptico usa para revestir tantas camadas?

Quando a máquina de revestimento a vácuo óptico volatiliza e acumula, as matérias-primas de origem no sistema de vácuo são aquecidas ou elétrons negativos do feixe de íons para volatilizar. Suspeita-se que o vapor esteja na superfície óptica. Durante o período de volatilização, de acordo com a manipulação precisa do aquecimento, a pressão de trabalho da bomba de vácuo e o posicionamento e rotação precisos do substrato, pode ser produzido um revestimento óptico uniforme com uma espessura especial. A volatilização tem características relativamente suaves, o que tornará o revestimento cada vez mais solto ou poroso. Este tipo de revestimento solto tem a capacidade de absorver água, o que altera o índice de refração razoável do filme, o que resultará em características reduzidas. Revestimentos voláteis podem ser aprimorados pela tecnologia de deposição assistida por feixe de elétrons, durante a qual o feixe de elétrons é direcionado para a superfície do wafer. Isso melhora a adsorção da camada de superfície óptica relativa do material de origem, resultando em uma grande quantidade de tensão interna, o que promove maior densidade e maior durabilidade do revestimento.

O campo eletrostático de alta energia pode acelerar o feixe de elétrons na pulverização de magnetron de feixe de elétrons (IBS) do revestidor a vácuo óptico. Essas velocidades instantâneas induzem energia mecânica significativa nos íons positivos. Após a colisão com o material de origem, o feixe de elétrons "magnetron sputters" as moléculas do material alvo. Os íons positivos alvo de magnetron sputtered (moléculas são convertidas em íons positivos pela zona de hidrólise) também possuem energia mecânica, resultando em um filme apertado quando em contato com a superfície óptica. IBS é uma técnica precisa e repetível.

Revestimento óptico a vácuo A pulverização de magnetron de plasma é um termo geral para uma série de tecnologias, como pulverização de magnetron de plasma de alta qualidade e pulverização de magnetron. Não importa que tipo de tecnologia seja, ela inclui a criação de plasma. Os íons positivos no plasma são acelerados no material de origem, colidem com íons positivos energéticos soltos e, em seguida, o magnetron sputter no componente óptico alvo geral. Embora diferentes tipos de pulverização de magnetron plasma tenham suas características, vantagens e desvantagens únicas, podemos combinar essa tecnologia, pois possuem o mesmo princípio, a diferença entre elas, compare esse tipo de tecnologia de revestimento e o papel As outras técnicas de revestimento abordadas no são muito menos diferentes entre si.

Ao contrário da deposição por volatilização, o material de origem usado para a deposição da camada molecular (ALD) não volatiliza do líquido, mas existe imediatamente na forma de vapor. Embora o processo use um vapor, altas temperaturas ambientes ainda são necessárias no sistema de vácuo. Em todo o processo de ALD, o precursor de cromatografia gasosa é entregue de acordo com o pulso único não intercalado e o pulso único é auto-restringido. Este tipo de processamento possui um esquema de design químico exclusivo, cada pulso único adere apenas a uma camada e não há requisitos especiais para a geometria da camada de superfície óptica. Portanto, esse tipo de processamento nos permite controlar a espessura e o design do revestimento em um grau relativamente alto, mas reduzirá a velocidade de acúmulo.