Entenda como o processo de revestimento a vácuo é realizado

Revestimento de vácuoé um processo usado para fabricar materiais de filmagem fina de alta qualidade. Produz filmes finos ao evaporar termicamente ou pulverizar materiais orgânicos ou inorgânicos na superfície de um substrato sob condições de vácuo. Este artigo apresentará a implementação do revestimento a vácuo em detalhes.

O processo de revestimento a vácuo inclui as seguintes etapas:

1. Escolha o substrato e material certos

Escolher o substrato e o material certos é o primeiro passo no revestimento a vácuo. O substrato pode ser vidro, plástico, metal ou outros nanomateriais. Os materiais podem ser orgânicos ou inorgânicos, como metais, semicondutores, óxidos ou nitretos.

2. Carregue o sistema de revestimento a vácuo

A segunda etapa é carregar o substrato e os materiais no sistema de revestimento a vácuo. O sistema de revestimento a vácuo inclui uma câmara de vácuo, um evaporador de metal, uma pulverização e um sistema de controle. A câmara de vácuo é um espaço fechado usado para manter um ambiente de vácuo, os evaporadores de metal e o espumante são dispositivos usados ​​para evaporar ou pulverizar materiais em substratos, e o sistema de controle é usado para monitorar e ajustar o ambiente a vácuo e a evaporação do material ou a velocidade de pulverização.

3. Vacuum

Depois de carregar o material e o substrato, a câmara de vácuo deve ser evacuada. A aspirar é uma etapa muito importante, porque manter um ambiente de baixa pressão e alta pureza pode garantir a qualidade da membrana. O ambiente a vácuo geralmente está abaixo de 10^-6 mbar para excluir moléculas de gás e outros poluentes.

4. Evaporação ou pulverização do material

Quando o ambiente a vácuo atinge a pressão desejada, o material pode ser evaporado ou cuspido no substrato. Existem dois métodos de evaporação do material: evaporação térmica e evaporação do feixe de elétrons. A pulverização também possui dois métodos: a pulverização de magnetron e a pulverização do arco. Qualquer que seja o método usado, a evaporação do material ou a taxa de pulverização e a espessura do filme precisam ser controladas.

5. Faça filme multicamada

Depois que uma membrana de camada única foi fabricada, várias camadas podem ser empilhadas para formar um composto. Diferentes materiais e processos de deposição podem ser usados, como deposição alternada, co-deposição de material com várias armas e deposição zonada.

6. Qualidade da membrana de teste

A etapa final é testar a qualidade da membrana. Os testes podem incluir espessura, propriedades físicas, propriedades ópticas e propriedades elétricas, entre outras. Determine se o material da membrana atende aos requisitos de acordo com os resultados do teste.

Em suma, a tecnologia de revestimento a vácuo é um método para obter filmes finos de alta qualidade. Ele precisa selecionar o substrato e o material apropriados, carregar o sistema de revestimento a vácuo, aspirar, evaporar ou brigar o material, fazer filme de várias camadas e testar a qualidade do filme. A tecnologia de revestimento a vácuo tem sido amplamente utilizada em campos eletrônicos, ópticos, médicos e de energia.