Princípio de controle de pressão do equipamento de revestimento a vácuo

1. Introdução de fundo
O equipamento de revestimento a vácuo é um tipo de equipamento amplamente utilizado na produção industrial. Sua principal função é colocar o material que precisa ser revestido na câmara de revestimento a vácuo e, através da reação sob alta temperatura e ambiente de vácuo, a camada de filme é uniformemente depositada na superfície do material. e formar uma certa camada de revestimento com funções e características especiais. Entre eles, o grau de vácuo e a taxa de adesão no equipamento são indicadores importantes que afetam a qualidade da camada de revestimento, e a estabilidade do grau de vácuo depende do controle de pressão no equipamento.
2. Princípio do controle de pressão do equipamento de revestimento a vácuo
1. Definição de grau de vácuo
Antes de introduzir o princípio do controle da pressão, é necessário introduzir o que é o vácuo. Na física, o vácuo refere -se a um ambiente de gás cuja pressão é menor que a pressão atmosférica; portanto, o grau de vácuo refere -se à pressão do gás em um certo espaço. Em geral, o vácuo é geralmente medido em Pascal (PA) ou barra de metros (MBAR). No equipamento de revestimento a vácuo, a faixa usual de vácuo é de 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. O princípio do controle de pressão
Quando o vácuo é muito alto ou muito baixo, afetará a operação normal do equipamento. Portanto, é necessário controlar o nível de vácuo no equipamento através de um determinado método. Entre eles, o controle de pressão é um método de controle relativamente simples e eficiente. Especificamente, o princípio do controle da pressão é usar um controlador de pressão para controlar a taxa de fluxo de gás no equipamento, detectando a pressão da extremidade controlada e, em seguida, através do mecanismo de feedback, controlando a abertura da válvula, de modo a alcançar o objetivo de controlar a pressão.
3. A composição básica do controlador de pressão
No equipamento de revestimento a vácuo, um controlador de pressão é geralmente usado para controlar a pressão. Sua composição básica inclui quatro partes: sensor de detecção, controlador, atuador e sistema de controle.
Sensor de detecção: é usado principalmente para detectar a mudança de pressão da extremidade controlada e convertê -la em uma saída de sinal elétrico correspondente para uso pelo controlador.
Controlador: recebe principalmente a saída do sinal elétrico pelo sensor, processa e analisa e, em seguida, alimenta o resultado da análise ao atuador para controlar o grau de abertura do atuador.
Atuador: controla principalmente a taxa de fluxo de gás no equipamento, controlando o grau de abertura da válvula, de modo a alcançar o objetivo de controlar a pressão.
Sistema de controle: é usado principalmente para monitorar e controlar vários indicadores no equipamento, como temperatura, grau de vácuo, etc., e fazer uma série de estratégias de controle.
3. Resumo
Em resumo, o princípio do controle da pressão no equipamento de revestimento a vácuo é controlar a pressão no equipamento através de um mecanismo de feedback relativamente simples e eficiente. Para estabelecer um sistema de controle tão estável, requer o suporte técnico de vários aspectos do sistema de controle de equipamentos, como monitoramento de parâmetros, algoritmo de controle, controle do atuador, ligação do sistema, etc. Esses fatores técnicos exigem a cooperação de certos funcionários profissionais e técnicos para garantir que o equipamento possa mostrar um desempenho mais excelente.